Proportion-Air QB3電氣比例閥——激光充電室流量控制

下圖顯示了一個激光充電室流量控制應用程序，該應用程序需要可以動態(tài)調整的3種氣體混合物。

使用了三個F系列閉環(huán)流量控制器- 每個氣體控制一個?？梢酝ㄟ^調節(jié)相應流量控制器的指令信號來改變混合物。由于這是一個閉環(huán)控制方案，來自流量監(jiān)視器的信號可用于數(shù)據(jù)采集。該信號在FQPV2主電氣連接器的引腳5上可用。

在此應用中還使用QB3來控制裝料室中的真空。真空度是一個關鍵部件，需要可重復控制以幫助保持充電室中每種氣體的適當水平。